現已*sf6除因其比重大（約為空氣的5倍），可能在下部空間積聚引起缺氧窒息外，其純氣是無毒無害的。但是在供應過程中或者在高能因子例如高溫、高能粒子的作用下，則會分解產生若干有毒有害、甚至劇毒、強腐蝕性物質，而且體系中的某些共存物質例如、水分、空氣、電極材料、設備材料等，均會導致上述過程的復雜化，致使分解產物的數量和種類明顯增加，其危害自然也顯著加大。

    Sf6氣體雜質的危害主要表現在某些酸性物質特別是HF,SO2等可引起設備材質的腐蝕；某些雜質特別是水分的存在，在一定條件下可能導致電器性能劣化，甚至造成嚴重設備事故。sf6中存在的注入sf4、sof2、sf2、so2f2、HF等均為毒性和腐蝕性*的化合物，對人體危害極大，S2F10則屬劇毒物質，其空氣中高容許濃度為0.025ppm。我國也曾發生過因上述物質引起的惡性人身事故。此外還應該指出，我國科學工作者今年來發現在sf6氣體產品中經常還有S2F10O,有時其含量甚至達數百ppm，盡管目前對其有毒有害尚未能確認。但值得引起注意。

    有鑒于此，對sf6氣體施行嚴格的質量監督與安全管理是確保設備可靠運行和人身健康安全的重要保證。為此電工委員會（IEC）于1971和1074年頒布了sf6氣體質量標準和對sf6新氣和經電弧作用后之氣體的標準分析方法。我國于1982年5月公布了《六氟化硫氣體技術條件》，此外國外許多sf6氣體重要供應廠家均制定了各自的質量標準，以此作為市場競爭的重要依托。

    為了監督檢測sf6中的雜質組成和含量，必須建立起準確可靠的分析檢測方法和技術，此乃是實現sf6氣體質量控制的技術基礎和前提。在該領域國外自70年代以來有若干文獻發表。背景勞動保護科學研究所自1978年以來進行了sf6氣體質量分析檢測技術的綜合研究和開發工作，并編輯了該領域的重要文獻資料。

    Sf6氣體使用安全保證的另一重要環節是建立，健全系統的氣體質量管理體制。它包括各類條例，標準，規程的制定實施，各級質量檢驗機構的建立，各級負責人和實驗操作人員的技術培訓等內容。只要能緊緊抓住技術和管理這兩個基本環節，sf6氣體的安全使用和電氣設備的安全運行是可以得到可靠保證的。